硅微结构相关论文
近红外探测器在信息技术及生物医学等诸多领域具有广泛的应用,但通常面临高成本滤光片以及复杂光学系统设计和集成等诸多问题。硅......
分析了光激励谐振器振动的检测问题，用调制激光束激励谐振器使其发生振动，并采用光学干涉的方法测量了这种微振动。......
MEMS器件应用前景广阔,其可靠性问题引起了人们越来越多的重视。硅基底多层结构是MEMS器件的重要组成部分,其特性将直接影响MEMS的......
随着便携式电子元器件的需求不断增加，对器件的体积、灵敏度、能耗和集成度等提出了更高的要求，能源供应也成为限制器件微小型化的重......
谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压......
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺，研究了四甲基氢氧化铵（TMAH）腐蚀液的特性，包括硅（100）晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫......
讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的硅微结构设计和分析，并针对典型的弹性质量系统，建立了其过载变形的模型，给出了用......
针对甲醇燃料电池的不足,燃料电池开发商Neah Power Systems公司(位于美国华盛顿州Bothell)研制的一种硅电极架构改进了基于PEM的......
针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构,利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算.分析并得出......
提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构，其一次敏感元件为矩形硅膜片，膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁，间接感受压力......
针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁为二次谐振敏感元件的热激励硅微结构压力传感器的实际结构,分析了其工作机理和产生热......
对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究，建立了微传感器敏感结......
本文突破传统阻容分压、电阻分压电压传感器的设计思路,基于MEMS加工技术,设计了一种十字梁结构膜片,建立了数学模型,利用有限元分......
三维高深宽比硅基结构是基于微纳制造技术的功能载体或执行机构。其由于小尺寸特征而获得特殊的微纳效应,具有灵敏度高、分辨率高......
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,......
